（一）判断真空是否被破坏

1、用枪、靶端离子泵的读值来区别

例如一端在-6.0以下，而另一端不正常，其值非常高如-3.5，这时说明假象可能性很大；如果一端的读值稍大于-6.0，如-5.9或-5.8左右，而另一端的读值比-5.0稍小些，如-5.1左右，说明真空不好的可能性大。即如果真空泄漏，无论是在枪端或靶端有泄漏（加速管本身很少有泄漏），其无泄漏端的离子泵一定会受泄漏端的影响，其读值也要稍高些。如果只是其中一端离子泵有故障不工作，而真空没有泄漏，则正常的离子泵端不会受太大影响。

2、用温度法判断

在正常情况下，离子泵的壳体温度与室温基本一致。如果离子泵壳体温度异常高，说明其负载大即有泄漏。如果其温度过高，应立即关断离子泵电源以免对离子泵及其电源造成进一步的破坏。

3、用互换法来判断

将两离子泵电源的高压输出电缆对调。如果对调后，监视器上的真空指示现象不变，说明真空没问题，可能监测电路有问题。

4、用隔断法来判断

将监视器显示有问题的离子泵端的高压电缆与离子泵脱离，这时看监视器指示，如果仍然不正常，说明真空破坏的可能性不大而应该是假现象。

（二）假现象常有的几种情况

1、离子泵本身故障，正负极间有非常电流。在这种情况下用木捶敲击离子泵壳体，监视器上真空的指示会有较大的波动，如果此时离子泵壳体并无温升，在离子泵端拔掉高压电缆后真空指示应恢复正常。

2、离子泵高压电缆漏电或击穿。在离子泵电源端拔掉高压电缆真空指示正常，而在离子泵端重新插上高压电缆指示依然高于正常值，这种情况可用摇表测量高压电缆的绝缘电阻加以判断。

3、离子泵电源坏。可以将两离子泵电源的高压电缆对调，如果对调后监视器上的真空指示没有变化说明电源有问题。

4、离子泵的检测电路问题。可以用电压表来直接测量真空检测电路输出端。在高压电缆拔掉后它的电压绝对值应该在0.3V以下。